在半導體制造領(lǐng)域，投影光刻機作為核心工藝設備，其工作環(huán)境對振動(dòng)控制的要求極為苛刻。SSB260/20T型投影光刻機憑借高精度和高速運算能力在光刻過(guò)程中實(shí)現微米級圖案轉移，而微小的機械振動(dòng)都可能導致圖案偏移和工藝缺陷。因此，采用高性能的減震系統成為確保設備穩定運行的關(guān)鍵技術(shù)。SDS橡膠波紋減震器正是在這種需求背景下誕生，其通過(guò)獨特的波紋橡膠結構設計，有效吸收和隔離振動(dòng)能量，保障光刻過(guò)程中的精密控制。
SDS橡膠波紋減震器主要由內膠層、加強布層和外膠層構成，外觀(guān)呈現出均勻的波紋結構。這種設計不僅賦予了減震器優(yōu)異的柔性和彈性，同時(shí)大大提高了其承載能力和耐疲勞性能。工作時(shí)，當設備受到機械振動(dòng)或沖擊時(shí)，波紋結構可以迅速變形，通過(guò)橡膠的內聚能量將振動(dòng)能量轉化為熱能，從而有效降低振動(dòng)幅度，防止其傳遞至光刻機的核心光學(xué)系統。
在SSB260/20T型投影光刻機中，SDS橡膠波紋減震器發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。首先，減震器能夠在低頻和高頻振動(dòng)范圍內均實(shí)現有效隔離，確保設備在啟動(dòng)、運轉及停止過(guò)程中始終保持穩定狀態(tài)。其次，波紋結構設計使得減震器具有較大的相對位移補償能力，可以適應設備在運行過(guò)程中因熱膨脹或安裝誤差引起的微小變形，從而維持光刻機各部件之間的精確對位。與此同時(shí)，其出色的抗老化性能和耐高溫特性，保證了設備在長(cháng)時(shí)間連續運轉下依然能夠維持穩定的減震效果，延長(cháng)了設備的使用壽命。
